Verfahren zur Chip-Herstellung -Deutscher Zukunftspreis für EUV-Lithografie
Verfasst: Do 26. Nov 2020, 15:12
Projekte zu den Themen Mikrochirurgie, Lithografie und Gebäudedämmung waren im Rennen um den Zukunftspreis 2020. Gewonnen hat die Auszeichnung das Team EUV-Lithografie
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